行星齿轮传动设备的重量一般与齿轮重量相比，齿轮重量与其材料和热处理硬度有很大关系。例如，在相同的功率下，碳淬火齿轮的重量将是调节齿轮重量的三分之一。因此，鉴于行星齿轮减速器的结构特性和齿轮的负载特性，硬齿面齿轮被广泛使用，这使得行星减速器的所有部件都非常耐磨，使用寿命为2-55年。获得硬齿面齿轮的热处理工艺有很多，如表面淬火、整体淬火、碳淬火、氮渗出等，应根据行星齿轮减速器的特点进行选择。
行星减速器部件淬火方法、表面淬火：常见的表面淬火方法有感应淬火（超小齿轮）和火苗淬火（大齿轮）。当表面淬火的淬火层包含齿根底端时，效果最好。常用的表面淬火材料是碳质量分数约为0.35%~0.5%的钢，齿面硬度可达45~55HRC。
渗碳淬火：渗碳淬火齿轮具有相对最大的承载能力，但必须采用精加工工艺（磨齿）来消除热处理变形，以确保精度。渗碳淬火齿轮常见的质量分数为0.2%~0.3%的合金钢，其齿面硬度通常在58~62HRC范围内。如果低于57HRC，齿面强度显著降低，高于62HRC时脆性增加。齿芯部硬度一般为310~330HBW。渗碳淬火齿轮的硬度应从齿轮表面逐渐降低到深层，有效渗碳的深层规定应逐渐降低到深层，有效渗碳的深层规定为52.5HRC的深层。除了提高芯的硬度外，渗碳淬火在轮齿弯曲疲劳极限中的作用还在于表面的残余压应力，可以降低轮齿最大拉应力区域的应力。因此，磨齿时不能磨齿根部分，滚齿时应使用留磨量滚刀。渗氮:选择渗氮可以保证轮齿在变形最小的情况下达到较高的齿面硬度和耐磨性，热处理后不再进行最终精加工，提高了承载能力。这对不易磨齿的内齿轮具有特殊意义。
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